● 產品規格： 1300 ㎜ x 1200 ㎜ 為例 ․XY軸定位精度 ±5μm
․ Θ解析 ±0.0005度
․ Θ定位精度0.001度
․十字靶標定位用CCD解析640*480
․探針用檢測CCD 1024*768 ● 適用範圍：光電產業